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スミファイン

高集積化、高性能化が急ピッチですすむ半導体製造プロセスにおいて、多くのガス系システムが使用されています。

このガス系システムのクリーン化は、今後の半導体産業の発展に大きな影響を与える要因の一つとされています。

ガスシリンダーは、これ等のシステムの根幹をなすもので、このガスを供給する入れ物がクリーンでなければ、ガス系システムのクリーン化は果たせません。
スミファインシリーズはこの点に着目し、独自の技術を駆使して容器の内面を研磨したクリーンなガスシリンダーです。従って、水分、パーティクル等お客様の幅広いご要望にお応えできる製品です。

スミファイン

スミファイン
SUMI-FINE

内面研磨中容器の種類

材質
(記号)
内容積
(L)
最高充填圧力
(MPa)
外径(mm) 肉厚(mm) 長さ(mm) 質量(kg)
マンガン鋼(M) 40.0 14.7 232.0 6.1 1,190 46.5
46.7 14.7 232.0 6.1 1,370 53.5
クロモリ鋼(C) 40.0 19.6 232.0 6.3 1,190 46.5
40.0 14.7 232.0 5.5 1,175 41.0
50.0 19.6 232.0 6.3 1,460 56.5
46.7 14.7 232.0 5.5 1,350 47.0
ステンレス鋼(S)
(SUS304、316)
46.7 5.88 232.0 6.3 1,370 53.5
ステンレス鋼 40L 40.0 5.88 232.0 6.3 1,190 46.5

スミファイン容器の研磨粗さ

内面の研磨粗さは、Rmaxで表し、25μm、12μm、6μm、1μm、とお客様のご要望にお応え出来る種類を取り揃えております。

研磨容器のSEM写真例

研磨容器のSEM写真例(12μm)

12μm(スミファインM12)

研磨容器のSEM写真例(1μm)

1μm(スミファインM1)