スミファイン

高集積化、高性能化が急ピッチですすむ半導体製造プロセスにおいて、多くのガス系システムが使用されています。

このガス系システムのクリーン化は、今後の半導体産業の発展に大きな影響を与える要因の一つとされています。

ガス容器は、これ等のシステムの根幹をなすもので、このガスを供給する入れ物がクリーンでなければ、ガス系システムのクリーン化は果たせません。
スミファインシリーズはこの点に着目し、独自の技術を駆使して容器の内面を研磨したクリーンなガス容器です。従って、水分、パーティクル等お客様の幅広いご要望にお応えできる製品です。